Sobald du einen Internal Error hast, am Besten die
IDE neu starten.
Der der Inline-Compiler wird nach seiner Arbeit nicht entladen und einige Fehler (in ihm selber) können sich daher auf die nächsten Durchläufe auswirken, was nur durch einen kompletten Neustart behoben wird.
Delphi XE ... ich erlebe sowas an manchen Tagen (mindestens einmal alle 1-2 Wochen) mehrmals (teilweise nach wenigen Minuten Laufzeit der
IDE ... sofort beim ersten oder zweiten Compiliervorgang).