Ich habe die Stelle gefunden die den Fehler auslöst und schuld dran sind die drei TFile.
Wenn es wirklich so ist, dann dürftest du ein Speicherproblem haben. Sprich irgendwo Speicher überschreiben oder ähnliches. Denn anders wäre das kaum zu erklären...
Ob der Compiler hier etwas falsch macht, lässt sich leicht klären, indem du den Assemblercode der Schleife postest. Dafür brauchst du nur an der Stelle einen Haltepunkt setzen und Strg + Alt + C drücken. Dann siehst du den Assemblercode und dazu jeweils den Pascal-Code. Den kannst du dann einfach von Anfang bis Ende der Schleife kopieren und posten.