Existiert die Datei vorher schon? Ist sie schon gestartet bzw. war sie das?
Passiert bei mir beim Debuggen auf öfters. Es hilft dann die Datei manuell zu Löschen.
das habe ich auch gemacht. Die x64 variante wird neu erstellt und das war... wenn ich sie manuell starte geht die anwendung auch.
Ich habe hier eine leere
VCL anwendung die nur das Fenster zeigt, nichts im code hinzugefügt.