Zitat:
Dort finde ich sowohl die angelegte Datei als auch die Hilf-Datei.
Ok - das bedeutet wohl, dass weder DeleteFile() noch RenameFile() erfolgreich sind. In deiner Prozedur kann ich allerdings nichts finden, was Ursache für dieses Funktionsversagen sein könnte. Vielleicht hilft ein "Application.ProcessMessages" hinter dem 2ten CloseFile()? Ausprobieren...
Anmerkung:
Du arbeitest offenbar gern mit globalen Variablen, z.B. Chem, ChemDat, ChemDatH - ist vielleicht am Anfang recht bequem. Man sollte es aber tunlichst vermeiden (und sich gar nicht erst angewöhnen)! Wird das Programm umfangreicher sind das die "besten" Fehlerquellen.
Auch gehört zum "rewrite()" eine Fehlerbehandlung, schau' mal in die DelphiHilfe unter dem Stichwort "IOResult".