Moin,

ich würde zuerst mal das FreeOnTerminate rauswerfen, denn da kannst Du nicht kontrollieren, in welchem Zustand der Thread beendet und freigegeben wird. Kann sogar sein, daß die Routine zum Schließen gar nicht ausgeführt wird.
Nach dem Terminate ist ein Thread.WaitFor sinnvoll, dann musst Du aber in Deinen Routinen zur Datenverarbeitung aber regelmäßig prüfen, ob der Thread terminiert wurde. Aber so kannst Du Deinen Thread sinnvoll beenden.
Und ein Fester des HauptThreads aus einem untergeordneten Thread zu schließen ist sowieso nicht unproblematisch.

Grüße, Messie